Difüzyon pompaları, vakum oluşturmak için kullanılan cihazlardır ve genellikle endüstriyel ve bilimsel uygulamalarda bulunurlar. Difüzyon pompalarının çalışmasında önemli bir rol oynayan unsurlardan biri, silikon yağlarıdır.Yüksek vakumlu sistemlerde kullanılır.